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广东吉田半导体材料有限公司多种光刻胶产品，主要涵盖厚板、负性、正性、纳米压印及光刻胶等类别，以满足不同领域的需求。
厚板光刻胶：JT-3001 型号，具有优异的分辨率和感光度，抗深蚀刻性能良好，符合欧盟 ROHS 标准，保质期 1 年。适用于对精度和抗蚀刻要求高的厚板光刻工艺，如特定电路板制造。
负性光刻胶
- SU-3 负性光刻胶：分辨率优异，对比度良好，曝光灵敏度高，光源适应，重量 100g。常用于对曝光精度和光源适应性要求较高的微纳加工、半导体制造等领域。
正性光刻胶 光刻胶厂家推荐吉田半导体，23 年研发经验，全自动化生产保障品质!北京3微米光刻胶生产厂家
- LCD 正性光刻胶 YK-200：具有较大曝光、高分辨率、良好涂布和附着力，重量 100g。适用于液晶显示领域的光刻工艺，确保 LCD 生产中图形精确转移和良好涂布效果。
- 半导体正性光刻胶 YK-300：具备耐热耐酸、耐溶剂性、绝缘阻抗和紧密性，重量 100g。主要用于半导体制造工艺，满足半导体器件对光刻胶在化学稳定性和电气性能方面的要求。
工艺流程
• 目的：去除基板表面油污、颗粒，增强感光胶附着力。
• 方法：
◦ 化学清洗（硫酸/双氧水、去离子水）；
◦ 表面处理（硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化，PCB基板用粗化处理）。
涂布（Coating）
• 方式：
◦ 旋涂：半导体/显示领域，厚度控制精确（纳米至微米级），转速500-5000rpm；
◦ 喷涂/辊涂：PCB/MEMS领域，适合大面积或厚胶（微米至百微米级，如负性胶可达100μm）。
• 关键参数：胶液黏度、涂布速度、基板温度（影响厚度均匀性）。
前烘（Soft Bake）
• 目的：挥发溶剂，固化胶膜，增强附着力和稳定性。
• 条件：
◦ 温度：60-120℃（正性胶通常更低，如90℃；负性胶可至100℃以上）；
◦ 时间：5-30分钟（根据胶厚调整，厚胶需更长时间）。
曝光（Exposure）
• 光源：
◦ 紫外光（UV）：G线（436nm）、I线（365nm）用于传统光刻（分辨率≥1μm）；
◦ 深紫外（DUV）：248nm（KrF）、193nm（ArF）用于半导体先进制程（分辨率至20nm）；
◦ 极紫外（EUV）：13.5nm，用于7nm以下制程（只能正性胶适用）。
• 曝光方式：
◦ 接触式/接近式：掩膜版与胶膜直接接触（PCB、MEMS，低成本但精度低）；
◦ 投影式：通过物镜聚焦（半导体，分辨率高，如ArF光刻机精度达22nm）。
主要原材料“卡脖子”：从树脂到光酸的依赖
树脂与光酸的技术断层
光刻胶成本中50%-60%来自树脂，而国内KrF/ArF光刻胶树脂的单体国产化率不足10%。例如，日本信越化学的KrF树脂纯度达99.999%，金属杂质含量低于1ppb，而国内企业的同类产品仍存在批次稳定性问题。光酸作为光刻胶的“心脏”，其合成需要超纯试剂和复杂纯化工艺，国内企业在纯度控制（如金属离子含量）上与日本关东化学等国际巨头存在代差。
原材料供应链的脆弱性
光刻胶所需的酚醛树脂、环烯烃共聚物（COC）等关键原料几乎全部依赖进口。日本信越化学因地震导致KrF光刻胶产能受限后，国内部分晶圆厂采购量从100kg/期骤降至10-20kg/期。更严峻的是，光敏剂原料焦性没食子酸虽由中国提取，但需出口至日本加工成光刻胶光敏剂后再高价返销，形成“原料出口-技术溢价-高价进口”的恶性循环。
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